靶(ba)材是(shi)制備薄(bo)膜的(de)關鍵基礎材料(liao)，目前(qian)比較(jiao)常用(yong)的(de)的(de)靶(ba)材制備加工(gong)方法主要有粉末冶(ye)金技術和傳(chuan)統的(de)合金冶(ye)煉技術兩種，而我們采(cai)用(yong)的(de)則是(shi)技術性較(jiao)強、較(jiao)新的(de)真(zhen)空熔煉技術。

　　鎳鉻靶材的(de)(de)制(zhi)備就是根據(ju)客戶的(de)(de)不(bu)同(tong)純(chun)度需求(qiu)，選擇(ze)不(bu)同(tong)純(chun)度的(de)(de)金屬鎳和(he)金屬鉻為(wei)原料，使用真空感應熔(rong)煉(lian)(lian)爐(lu)熔(rong)煉(lian)(lian)，熔(rong)煉(lian)(lian)工藝一般為(wei)熔(rong)煉(lian)(lian)室室抽(chou)真空—氬氣(qi)洗爐(lu)—抽(chou)真空—惰性氣(qi)體保護—熔(rong)煉(lian)(lian)合(he)金化—精煉(lian)(lian)—澆(jiao)鑄—冷卻(que)脫模。我們(men)會(hui)對(dui)澆(jiao)鑄完成的(de)(de)鑄錠進行(xing)成分檢測，符合(he)要求(qiu)的(de)(de)鑄錠就會(hui)進行(xing)下(xia)一步加工。

　　再將鎳(nie)鉻鑄錠進行鍛造、軋(ya)制等得(de)到組織更均勻的軋(ya)板，然后(hou)對軋(ya)板按照客(ke)戶(hu)要求進行機(ji)加工，即(ji)可得(de)到符合客(ke)戶(hu)需求的鎳(nie)鉻靶材(cai)。